Sputtern, Ionenzerstäubung, Abdampfen von Atomen und Atomclustern von der Oberfläche eines Stoffes unter Bestrahlung mit beschleunigten Ionen. Technische Anwendungen sind das Ätzen (Sputterätzen, ...
Some results have been hidden because they may be inaccessible to you
Show inaccessible results
Feedback